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欧欣: 智能时代下异质集成XOI材料与声光器件技术

发布时间:2025-09-30
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来源:材料科学与工程学院

报告时间2025年10月7日(星期二)16:20

报告地点工程管理与智能制造研究中心三楼第五学术报告厅

报 告 人欧欣 二级研究员

工作单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所

举办单位材料科学与工程学院

报告简介

异质集成可以突破单一半导体能带结构和物理特性的限制,已成为信息器件技术发展的重要趋势。一方面可以制造频谱更宽阔、功能更丰富、性能更优异的微电子和光电子器件,另一方面可以实现分立器件的单芯片集成,推动电子系统向小型化、集成化方向发展。但高质量异质集成材料制备及异质界面对器件的多场调控还面临诸多关键科学问题。本报告介绍课题组在新型异质集成XOI材料及器件方面的研究进展,通过建立异质材料制备技术体系,为5G/6G时代高功率电子器件、高速光子器件(铌酸锂、钽酸锂)和高频、大带宽射频声学器件提供异质集成材料平台和器件方案。

报告人简介

欧欣,2003年毕业于合肥工业大学金属材料专业,中国科学院上海微系统与信息技术研究所二级研究员、硅基材料与集成器件实验室主任。先后获得中国青年科技奖(2022)、国家科技创新领军人才(2019)、国家优青(2016)、享受国务院政府特殊津贴(2024)、中国科学院高层次人才(终期优秀)(2015)。先后主持基金委重大项目及三项国家重点研发计划,担任国家重大专项(06专项)滤波器产品技术负责人。在硅基SOI材料技术的基础上,面向集成电路材料的发展趋势及5G芯片对异质集成材料技术的重大需求,发展异质集成XOI材料与器件技术,成功开发出多种异质晶圆制备技术并应用于光电调制器、射频滤波器等芯片,研究成果解决了国产高性能5G/6G射频滤波器用压电异质晶圆自主可控问题

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